大连中鼎化学有限公司

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产品分类 9N系列纯化器（0.1ppb） 8N/7N系列纯化器 6N系列纯化器 9NP/8NP终端纯化器POU 制氮机配套用气体纯化器 ******催化吸附材料超纯气体现场供应及运营管理排放尾气回收提纯循环利用装置工业副产氢气制备高纯氢气装置 PSA制取高纯氢

产品展示

9N系列纯化器（0.1ppb）

应用领域：

适用于电子半导体、大规模集成电路、MAMS、单晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化镓、碳化硅、科研开发、实验分析等。

特点：

● 双塔交替吸附再生，全自动连续运行

● EP级316L抛光不锈钢管件

● 配置0.003μm过滤器，去除率可达99.9999999%

● 西门子 PLC 可接入DCS系统

● 安全报警功能完善

● 可提供远程云服务

● 超净环境中生产组装

● 气体处理量10-20000Nm³/h

9N超纯气体纯化器

系列型号

适用气体

原料气指标

产品气指标

N₂

H₂

O₂

H₂O

CO₂

CH₄

H₂

N₂

颗粒度

9VV

●

≤0.1ppb

—

≤0.1ppb

—

0.003μm

9OVV

●

—

●

≤0.1ppb

—

0.003μm

9VVX

—

●

≤0.1ppb

0.003μm

—

●

—

≤0.1ppb

—

≤0.1ppb

0.003μm

—

●

≤0.1ppb

0.003μm

—

●

—

≤0.1ppb

—

≤0.1ppb

0.003μm

注：常用流量规格：1-20000Nm³/h;常用压力：1-20Mpa