●实验分析 、科研开发
●集成电路制造 、MAMS
●单晶硅、多晶硅及硅外延
●LED、TFT
●氮化镓、碳化硅等
●气体吹扫、焊接
●氨气纯化器应用于科研院校
●小型终端氢气纯化器应用于高科技仪器公司
●常温使用
●重复再生
●杂质脱除深度高
●内置微米过滤器,独特结构, 防止堵塞
●可根据用户需要定制各种型号
●使用成本低
8NP系列常规型号一览表 |
|||||||||||||
适用气体 |
N2、H2、O2、Ar、He、NH3、SiH4、HCL |
||||||||||||
处理量 |
5 |
10 |
20 |
30 |
50 |
100 |
150 |
200 |
300 |
500 |
800 |
1000 |
|
长度 |
120 |
150 |
225 |
220 |
200 |
385 |
465 |
360 |
508 |
760 |
600 |
716 |
|
直径 |
2’ |
2.5’ |
3’ |
4’ |
6’ |
进/出气口接头 |
1/4 VCR |
1/2 VCR |
使用压力 |
1.0Mpa |
******气体压差 |
0.1 Mpa |
纯化指标 |
单项杂质<1ppb |
使用寿命 |
六个月(返厂再生) |
Ø 可根据客户要求,定制特殊型号产品。 |
9NP系列常规型号一览表 |
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适用气体 |
N2、H2、O2、Ar、He、NH3、SiH4、HCL |
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处理量 |
5 |
10 |
20 |
30 |
50 |
100 |
150 |
200 |
300 |
500 |
800 |
1000 |
长度 |
130 |
180 |
275 |
260 |
380 |
500 |
435 |
550 |
780 |
600 |
900 |
1100 |
直径 |
2’ |
2.5’ |
3’ |
4’ |
6’ |
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进/出气口接头 |
1/4 VCR |
1/2 VCR |
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使用压力 |
1.0Mpa |
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******气体压差 |
0.1 Mpa |
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纯化指标 |
单项杂质<0.1ppb |
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使用寿命 |
六个月(返厂再生) |
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Ø 可根据客户要求,定制特殊型号产品。 |