适用于LED尾气、硅外延尾气、单晶硅多晶硅生产尾气、热处理厂保护气排放气等。
● 前置尾气回收处理系统（与生产装置协调一致）
● 使用******催化剂，多种工艺联用，回收率高。
● 安全可靠——全自动运行，具备完善的报警、连锁方案
● 性价比高——投资小，运行费用低， 经济效益高。
● 撬装设备
● 气体处理量100-2000Nm3/h
● 安全报警功能完善
● 可提供远程云服务
近年来，我公司响应国家产业政策的号召，大力开展节能减排、节能环保、循环经济技术和产品的研究开发工作。在大规模集成电路、LED、光伏太阳能、硅外延以及金属热处理和化工行业的尾气回收净化利用上，取得了突破性成果，为相关行业、企业创造了可观的经济效益和社会效益。
退火炉气体回收纯化装置针
对冷轧退火炉（连退炉、罩式炉）生产线
排放的尾气，通过催化、吸附、膜分离等技术
联用，纯化到满足使用要求后，经压缩后循环
使用，回收利用率>80% 。
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丙烯低温精馏液相回收装置 从小本体聚丙烯常温冷凝回收装置放 空的尾气出发，依次通过干燥工序、低温 精馏工序回收液相丙烯。低温系统由冷冻 机组制冷，设备简单，操作方便。
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氯碱氢气回收净化装置
采用洗气、PSA、催化、TSA技术相结合，
从氯碱氢气出发制取高纯氢。原料氢气通过
碱洗、水洗等脱除大量氯，干法吸附深度脱
氯工序脱除气体中的微量氯，脱除深度可达
0.1ppm。然后依次通过压缩、催化工序，两
塔吸附工序脱除气体中的O2、H20、CO2等
杂质后送出至使用点，脱除深度******可达0.1
ppm。
